為進步加工精度和減少研磨輪磨損,對平面研磨拋光加工過程中的加工參數進行分析。針對目前常用的兩種不同結構砂輪,采用加工精度系數和砂輪磨損系數的概念描述加工精度與砂輪磨損,并提出相應的數學模型,以分析加工參數與工件精度及研磨輪磨損的關系。通過理論分析與實踐表明：優化設計砂輪的結構、公道選擇加工參數,可以實現進步研磨加工精度及降低砂輪磨損的目的。

　　平面研磨拋光加工技術已被廣泛應用于超精密加工中,它可加工出粗拙度Ra為0.01-0.02μm的鏡面。諸如量塊、光學平面、集成電路的硅基片等硬脆零件,后都是用超精密研磨拋光機得到要求的高質量表面。其樞紐是如何進步效率、加工精度,降低本錢。

　　為改善冷卻液工作狀態,減小加工動壓的影響,現在研磨輪多數采用了開槽式結構設計。但是,對于研磨輪表面結構和研磨加工精度、粗拙度之間關系的研究還沒有一個定性的研究結論。

　　對于平面研磨拋光加工的主要工藝因素在一定的范圍內，增加研磨壓力可以提高研磨效率。此外，超精密研磨對研磨運動軌跡有以下基本要求，保征工件加工表面和研具表面上各點均有相同或相近的被切削條件和切削條件：

　　1.工件相對研磨盤作平面平行運動，使工件上各點具有相同或相近的研磨行程。

　　2.工件上任一點不出現運動軌跡的周期性重復。

　　3.避免曲率過大的運動轉角，保證研磨運動平穩。

　　4.保證工件走遍整個研磨盤表面，以使研磨盤磨損均勻，進而保證工件表面的平面度。

　　5.及時變換工件的運動方向，以減小表面粗糙度值并保證表面均勻一致。